南大光电ArF光刻胶取得重大突破

 

据悉，南大光电的ArF光刻胶正在进行客户测试，这意味着国内的ArF光刻胶已经从研发开始走向生产。南大光电的193nm 光刻胶项目将达到年产25吨的生产规模，产品将满足集成电路行业需求标准。